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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 测试表征 » 求教：不锈钢衬底上的薄膜厚度用什么方法或仪器可以测量
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雄姿英发

金虫 (正式写手)

逐梦人

[求助] 求教：不锈钢衬底上的薄膜厚度用什么方法或仪器可以测量 已有1人参与

因为之前是在玻璃上做的，所以薄膜厚度直接用台阶仪就能很准确的测出，但现在换衬底了，在不锈钢上镀膜后台阶仪不好用，所以想求教如何用其他方法或测试设备测薄膜厚度
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1楼 2013-12-17 10:54:21
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尘隐土

木虫 (正式写手)

贫困区
穿越千年: 鼓励新虫积极交流 2013-12-17 12:14:09
试试椭偏仪，你们衬底哪里买的
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2楼2013-12-17 11:14:37
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2013-12-17 14:00:02
如果薄膜透光的话可以用椭偏，不透光试试XRD，新仪器有测厚度的模式
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3楼2013-12-17 13:57:13
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雄姿英发

金虫 (正式写手)

逐梦人
引用回帖:
2楼: Originally posted by 尘隐土 at 2013-12-17 11:14:37
试试椭偏仪，你们衬底哪里买的

帮同学问的，他在一家做薄膜太阳能电池的公司上班，具体材料来源我不清楚
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4楼2013-12-17 17:07:04
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雄姿英发

金虫 (正式写手)

逐梦人
引用回帖:
3楼: Originally posted by gxytju2008 at 2013-12-17 13:57:13
如果薄膜透光的话可以用椭偏，不透光试试XRD，新仪器有测厚度的模式

我们做的是CIGS  椭偏仪也用过  用UV测反射再算厚度 也用过 但这两种方法测出来的结果会有偏差
不知道用哪种方法更可信
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5楼2013-12-17 18:52:16
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gxytju2008

专家顾问 (文坛精英)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
雄姿英发: 金币+10, ★有帮助, 谢谢您，具体的方法我们再琢磨一下 2013-12-18 22:53:48
感觉椭偏比较靠谱

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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6楼2013-12-17 18:53:54
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xtf12345

木虫 (小有名气)
用另一个不锈钢衬底盖在有薄膜的衬底上，小心的磨一下边缘，相当于找截面了，用扫描电镜看一下截面应该可以直观得出，
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7楼2013-12-19 08:35:37
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dbw1900

铁杆木虫 (初入文坛)
xrd仪器中的XRR功能，或者做出台阶用台阶仪、原子力之类的仪器
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8楼2013-12-19 10:40:54
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雄姿英发

金虫 (正式写手)

逐梦人
引用回帖:
8楼: Originally posted by dbw1900 at 2013-12-19 10:40:54
xrd仪器中的XRR功能，或者做出台阶用台阶仪、原子力之类的仪器

谢谢！
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9楼2013-12-19 11:55:04
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雄姿英发

金虫 (正式写手)

逐梦人
引用回帖:
7楼: Originally posted by xtf12345 at 2013-12-19 08:35:37
用另一个不锈钢衬底盖在有薄膜的衬底上，小心的磨一下边缘，相当于找截面了，用扫描电镜看一下截面应该可以直观得出，

好方法，多谢！
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10楼2013-12-19 11:55:37
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