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关于RRAM的CV特性
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性别: GG
专业: 半导体科学与信息器件
【答案】应助回帖
首先,这个跟你其他的工艺还有关系,不是光中间这层膜决定的,其次,你确定你每次长出来的膜的情况都一样么?
还有,不同组态的CV应该是不太一样的。对于一个没有form的样品,你的CV应该就是一个MIM结构的CV,没有任何变化,C都不变。
要是form过,LRS和HRS 的CV又不太一样,关键是你CV的范围不可能很大,弄不好就会让它翻转,所以个人觉得,RRAM的CV研究价值不大,不如改去研究阻抗分析。
硬说CV的话,我觉得是一条直线。
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哈哈哈哈,来吧
41楼
2015-02-20 14:20:25
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