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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 请问大家，溅射时的功率密度该怎么选择呢？
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tonylei1990

银虫 (初入文坛)

[交流] 请问大家，溅射时的功率密度该怎么选择呢？

我最近看了好多论文，因为靶材的大小不同，我将其换算成功率密度，发现功率密度也是差距很大，让我很纠结，到底该怎么选择一个合适的溅射功率呢？
聚合物的溅射功率密度一般为多少呢？比如说PTFE
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1楼2013-12-12 15:49:09
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zs042270

金虫 (小有名气)
★
tonylei1990(金币+2): 谢谢参与
我估计你这个贴发在这里能找到合适答案的机会不大，你可以试试表面工程、功能材料等版面。
虽然我对这个有点了解，但是还是无法回答这么专业的问题
祝楼主可以得到答案
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11楼2014-03-15 16:13:05
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scu2020

荣誉版主 (知名作家)
这个有点难，多看文献
赞一下 回复此楼
10楼2014-03-05 22:07:26
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