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tonylei1990

银虫 (初入文坛)

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帖子: 28
在线: 57.2小时
虫号: 1974598

[交流] 请问大家，溅射时的功率密度该怎么选择呢？

我最近看了好多论文，因为靶材的大小不同，我将其换算成功率密度，发现功率密度也是差距很大，让我很纠结，到底该怎么选择一个合适的溅射功率呢？
聚合物的溅射功率密度一般为多少呢？比如说PTFE

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1楼2013-12-12 15:49:09

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scu2020

荣誉版主 (知名作家)

这个有点难，多看文献

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10楼2014-03-05 22:07:26

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zs042270

金虫 (小有名气)

应助: 0 (幼儿园)
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虫号: 2942982

★
tonylei1990(金币+2): 谢谢参与

我估计你这个贴发在这里能找到合适答案的机会不大，你可以试试表面工程、功能材料等版面。
虽然我对这个有点了解，但是还是无法回答这么专业的问题
祝楼主可以得到答案

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11楼2014-03-15 16:13:05

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tonylei1990

[交流] 请问大家，溅射时的功率密度该怎么选择呢？

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scu2020

zs042270

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