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测氮化硅中的碳含量
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zhouhaiping
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测氮化硅中的碳含量
已有5人参与
有哪位大虾知道氮化硅中的碳含量用什么仪器测,含量可能是在几十或者几百ppm的,跪求!有人说用傅里叶红外,不知道有没有谁测过!
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2013-12-10 14:48:14
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★
cqbpatriot: 回帖置顶
2013-12-15 10:49:58
zhouhaiping: 金币+1,
★
有帮助, 碳含量不一定是一致的,表面和内部,俄歇是不是蛮贵的啊,我们学校好像没有这个仪器
2013-12-17 08:41:39
861960469: 取消置顶
2014-01-02 12:36:05
应该可以使用ICP进行测量吧。精度最高在1ppm左右。
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3楼
2013-12-14 22:19:32
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4楼
:
Originally posted by
zhouhaiping
at 2013-12-15 20:08:53
你说的是MS-ICP吗?测不了...
是碳元素序号太小了测不准还是什么原因呢?要不假设表面的碳浓度和内部的一致,用俄歇试试?俄歇测表面的东西很准的。
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5楼
2013-12-15 20:40:05
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