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zhouhaiping

铁虫 (小有名气)

[求助] 测氮化硅中的碳含量 已有5人参与

有哪位大虾知道氮化硅中的碳含量用什么仪器测,含量可能是在几十或者几百ppm的,跪求!有人说用傅里叶红外,不知道有没有谁测过!
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖


cqbpatriot: 回帖置顶 2013-12-15 10:49:58
zhouhaiping: 金币+1, 有帮助, 碳含量不一定是一致的,表面和内部,俄歇是不是蛮贵的啊,我们学校好像没有这个仪器 2013-12-17 08:41:39
861960469: 取消置顶 2014-01-02 12:36:05
应该可以使用ICP进行测量吧。精度最高在1ppm左右。
3楼2013-12-14 22:19:32
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


引用回帖:
4楼: Originally posted by zhouhaiping at 2013-12-15 20:08:53
你说的是MS-ICP吗?测不了...

是碳元素序号太小了测不准还是什么原因呢?要不假设表面的碳浓度和内部的一致,用俄歇试试?俄歇测表面的东西很准的。
5楼2013-12-15 20:40:05
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