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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 靶材溅射中出现的中毒 黑斑
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黄瓜一样冰凉

金虫 (小有名气)
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10楼: Originally posted by 091820053 at 2013-12-04 11:52:06
直流磁控溅射。具体我是做靶材的，这是客户的使用结果。...

你是做靶材的，很高兴认识你。产生黑斑很大的可能是是工艺调试没到位。
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11楼2013-12-04 13:01:34
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091820053

禁虫 (知名作家)
本帖内容被屏蔽
12楼2013-12-05 09:54:22
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kilong2628

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
11楼: Originally posted by 黄瓜一样冰凉 at 2013-12-04 13:01:34
你是做靶材的，很高兴认识你。产生黑斑很大的可能是是工艺调试没到位。...

请问你说的工艺调试没到位是指什么啊？
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13楼2014-04-30 11:25:50
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Smallpeng

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
是同一批次的靶材吗？
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勇敢自信踏实，科研其实和生活是一样一样的
14楼2014-08-25 17:31:41
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zxy19871129

铁虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我也遇到过同样的问题，我觉得主要还是可能有漏气，我的靶材黑色的比你的多，后来把漏气搞得差不多了以后，目前未再出现，还有就是不知道是不是打火的原因，反正我目前也没有搞得太明白
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15楼2014-08-25 22:41:42
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