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求助：用ICP刻蚀硅片，几十到几百微米的沟槽，用什么做掩膜比较好？ 已有2人参与
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| 准备在硅片上用ICP刻蚀几十到几百um的沟槽，用SiO2做掩膜可以吗？大概流程操作是什么？求助大神~ |
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3楼2014-03-11 09:57:51
reninhat
铁杆木虫 (正式写手)
- 应助: 80 (初中生)
- 金币: 6133.8
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2楼2013-11-23 07:24:03