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求助：用ICP刻蚀硅片，几十到几百微米的沟槽，用什么做掩膜比较好？ 已有2人参与
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| 准备在硅片上用ICP刻蚀几十到几百um的沟槽，用SiO2做掩膜可以吗？大概流程操作是什么？求助大神~ |
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reninhat
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