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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 求助：用ICP刻蚀硅片，几十到几百微米的沟槽，用什么做掩膜比较好？
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dxozw

新虫 (小有名气)

[交流] 求助：用ICP刻蚀硅片，几十到几百微米的沟槽，用什么做掩膜比较好？ 已有2人参与

准备在硅片上用ICP刻蚀几十到几百um的沟槽，用SiO2做掩膜可以吗？大概流程操作是什么？求助大神~
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1楼 2013-11-22 21:14:21
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
标准的流程就是用SiO2做掩膜，穷人的做法就是用SU8。
SU8坚膜后，比较难去除
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2楼2013-11-23 07:24:03
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815027262

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我用ICP刻蚀硅200微米深，就用AZ系列的光刻胶做掩膜
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3楼2014-03-11 09:57:51
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