| 查看: 2493 | 回复: 16 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
maximus1214银虫 (初入文坛)
|
[求助]
EBL显影之后做了SEM发现问题
|
||
| 我在EBL（PMMA A4）显影之后，做了一下SEM，看了几个图形区域。结束之后发现一些图形区域中图形还存在，但是以图形为中心，出现一个矩形框把图形包围起来，矩形中的胶就像被刻蚀掉了一样，求大神解释一下，这是为什么？谢谢！ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有144人回复
franckchen 
银虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 188.7
- 散金: 180
- 帖子: 125
- 在线: 19.4小时
- 虫号: 2760475
- 注册: 2013-10-28
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
16楼2014-12-02 00:39:13
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
3楼2013-11-22 11:43:14
maximus1214
银虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 364.5
- 帖子: 33
- 在线: 6.8小时
- 虫号: 1720333
- 注册: 2012-03-27
- 性别: GG
- 专业: 交叉学科中的光学问题
4楼2013-11-22 14:13:27
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.1
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
5楼2013-11-22 15:38:05