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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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maximus1214

银虫 (初入文坛)

[求助] EBL显影之后做了SEM发现问题

我在EBL(PMMA A4)显影之后,做了一下SEM,看了几个图形区域。结束之后发现一些图形区域中图形还存在,但是以图形为中心,出现一个矩形框把图形包围起来,矩形中的胶就像被刻蚀掉了一样,求大神解释一下,这是为什么?谢谢!
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franckchen

银虫 (小有名气)


引用回帖:
14楼: Originally posted by fyl1989 at 2014-01-17 13:52:39
其实就是停留太久了,如果你停留再久点,当你移走SEM视场时,会发现原来视场左上角的位置已经被beam烧出一个点了,最好的方法就是做很多组重复图形,调好参数,显影后观察只用观察其中的一两组就够,如果所观察的都 ...

可否留个联系方式,以后有问题多多交流。我做ebl才半年。求邮箱,谢谢!

[ 发自小木虫客户端 ]
16楼2014-12-02 00:39:13
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
maximus1214(supernatural代发): 金币+5, 楼主本想给5楼5金币,5楼既是3楼,因此代发金币5个 2013-11-24 09:24:15
SEM在观察的时候是发射电子的。矩形框就是你的片子再次被电子整片的轰击了一遍,矩形的范围就是SEM的视场。相当于再曝光了一次。
3楼2013-11-22 11:43:14
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maximus1214

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2013-11-22 11:43:14
SEM在观察的时候是发射电子的。矩形框就是你的片子再次被电子整片的轰击了一遍,矩形的范围就是SEM的视场。相当于再曝光了一次。

这个我知道,关键是我显过影了,而且就算是再被曝光了一次也不应该胶立马就没了啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
4楼2013-11-22 14:13:27
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by maximus1214 at 2013-11-22 14:13:27
这个我知道,关键是我显过影了,而且就算是再被曝光了一次也不应该胶立马就没了啊
...

你是照的太久了吧。胶在SEM中电子的照射下会有强烈的收缩变形。
5楼2013-11-22 15:38:05
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