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zmcs1314520

金虫 (小有名气)

★ ★
gzqabc(金币+2,VIP+0):谢谢分享
PECVD沉积硅薄膜的制备研究
实验设计
    本实验采用沈阳科学仪器厂生产的星形多室电容匹配PECVD沉积设备,其射频
电源频率为13.56 MHz, SiH;和H:的混合气体为反应气体,以PH3作为N型膜的掺
杂气体。利用辉光放电使SiH4分解在普通玻璃、石英、及市售不锈钢片衬底上成膜。
每次实验时都保持本底真空Pa优于3.0x 10-4 Pa,极板间距d--2cm,沉积气压P=133.3Pa,沉积时间为1h。在保持其他条件不变的情况下,通过调节HZ稀释比Sc {[HZ]/t[HZ]+[SiH4]){、衬底温度TS、射频功率P}、以及改变衬底种类制备了四组本征样品。以PH3lSiH4=1 / 100的掺杂浓度制备掺磷的N型样品。利用拉曼(Raman)散射谱、原子力显微镜(AFM、扫描电镜(SEM)研究了H:稀释、沉积温度、射频功率及掺杂和衬底对薄膜晶化的影响。利用岛津公司生产的UV-3150紫外可见分光光度计测试薄膜的厚度。由厚度/沉积时间计算薄膜的沉积速率。由电导率测试盒测得样品的暗电
导率。
支持一下!
互相帮助,共同进步,创建和谐小木虫社会
11楼2007-12-09 19:50:31
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lililong0

木虫 (著名写手)

快乐的男孩

★ ★
gzqabc(金币+2,VIP+0):谢谢分享
http://www.isload.com.cn/store/480r735tkz4vw
非晶硅薄膜型太阳电池
这类文献太多了,给你下载了一篇
12楼2007-12-09 23:19:56
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gzqabc

金虫 (正式写手)

电源的具体资料,谢谢各位虫友了
13楼2007-12-10 08:32:03
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gzqabc

金虫 (正式写手)

VHF电源资料,重点求助
14楼2007-12-17 08:27:04
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daixj21

木虫 (知名作家)

小木虫税务总局局长——水虫

★ ★ ★ ★ ★
gzqabc(金币+5,VIP+0):这个是AE的VHF电源的介绍,消息来源http://www.advanced-energy.com.tw/tw/Ovation.html
RF ????y  

Ovation™ VHF????y
Ovation™ ?????????y??^??????N?????????????????F?????????_???u???^???????????????????????|?g???u??????y?????o?????Мy??????r?????? 50-ohm ?h??????????????y??????60-MHz ???O??pС????????{??????????????????pС???x???g??p????????????????|????????

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2760 W??60 MHz???P????????????M???S??  
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自觉纳税光荣偷税漏税可耻.............——木虫税务局
15楼2007-12-17 17:18:29
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daixj21

木虫 (知名作家)

小木虫税务总局局长——水虫

自觉纳税光荣偷税漏税可耻.............——木虫税务局
16楼2007-12-17 17:30:06
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cpanpan

金虫 (正式写手)

吃鱼的西瓜虫


gzqabc(金币+1,VIP+0):参与有奖
我也不懂啊
帮你顶一下!!!!
17楼2007-12-19 23:01:05
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cs123292

铁杆木虫 (职业作家)

★ ★ ★ ★
gzqabc(金币+4,VIP+0):感谢分享
可以到关于金刚石制备的书中找以下,如《金刚石薄膜的制备和应用》
18楼2007-12-22 14:10:05
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hobbyzhang

荣誉版主 (文坛精英)

小木虫首席大法官


gzqabc(金币+1,VIP+0):参与有奖
这东西很专业的
看了就给你鼎鼎吧

呵呵
如果我儿子长大当军人,我会告诉他,做为军人,不仅要服从命令,还要服从真理和正义,生你的是父母,养你的是百姓,所以你所做的,必须对人民有利,永远记住,.
19楼2007-12-22 14:12:54
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00001xzw

木虫 (小有名气)


gzqabc(金币+1,VIP+0):参与有奖
我也不懂,但还是要顶一下!!!
Hello,我来也!!!
20楼2007-12-22 15:43:27
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