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半导体薄膜制备及加工技术实验室
磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO；IBE、RIE、WE刻蚀加工
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foxs2

木虫 (文坛精英)

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提供热固化压印模板、紫外固化压印模板，周期0.2~1微米的一维光栅、二维点阵，基底可以为硅片（热固化型）、石英基片（紫外固化型）或有机基片。
      我室为专门的薄膜制备、刻蚀、加工实验室，拥有多台大型磁控溅射、电子束蒸镀、LPCVD设备。提供Au、Ag、Al、Cu、Cr、Fe、Mo、Ni等金属薄膜和Si、SiO2、Si3N4、Al2O3、ITO、AZO、ZnO等非金属薄膜镀膜服务，镀ITO、AZO、等透明导电电极。可提供1.1毫米玻璃片、硅片、石英片基底，其他基底请自备。
      提供RIE、IBE、WE等全套刻蚀加工服务，刻蚀各种金属、非金属图形结构。

赵工  壹伍壹零捌贰玖玖捌壹陆       zyy44138172@126.com

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1楼2013-10-14 00:27:30
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