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爱米Amy

新虫 (小有名气)

[求助] HF酸洗Si片的问题

大家用HF酸清洗硅片用多大浓度的HF酸?清洗多长时间?具体讲讲清洗方法,我们是想去除Si表面的SiO2,但是又怕对Si基底造成损伤,使Si表面不平整。
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
17楼: Originally posted by 爱米Amy at 2013-10-08 08:21:38
厚度虽然薄,但是会不会对Co和Si反应有影响呢?...

HF对Si反应速率极慢,对Co不了解。
18楼2013-10-10 12:33:32
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conanzzz

木虫 (正式写手)

我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~
2楼2013-09-26 10:30:18
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爱米Amy

新虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by conanzzz at 2013-09-26 10:30:18
我想问下LZ用不完的氢氟酸想扔掉该怎么处理阿?谢谢~

我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗?
3楼2013-09-26 14:31:42
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conanzzz

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 爱米Amy at 2013-09-26 14:31:42
我们实验室有专门的废液处理的池。你也用HF酸洗Si片吗?...

这样啊...我们不是酸洗液,是之前有人遗留下来了HF没处理,搞得我们不知道怎么办~
4楼2013-09-27 10:32:37
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