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MemorDD

铜虫 (初入文坛)

[求助] 请问标准双台面结构的工艺流程

请问P-I-N标准双台面结构的工艺流程是怎样的，光刻刻蚀过程中有什么注意点和特殊工艺么？
或者有相关工艺流程的参考文献和流程图也行。
谢谢！
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1楼 2013-09-11 18:29:42
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