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jiudushishu铁虫 (小有名气)
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[求助]
石墨烯如何进行XPS测试？
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我想对Si衬底上生长的石墨烯做一个XPS测试，哪位大神教教我怎么测试啊？ 我的样品是20*20mm的，石墨烯属于薄膜材料，不知道对样品有什么要求啊？ 是直接测试还是需要对样品处理一下？ |
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jiudushishu
铁虫 (小有名气)
- 应助: 35 (小学生)
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- 在线: 33.2小时
- 虫号: 1224837
- 注册: 2011-03-07
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- 专业: 半导体材料
3楼2013-09-09 23:19:15
【答案】应助回帖
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感谢参与，应助指数 +1
jiudushishu: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-09-09 11:43:17
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jiudushishu: 金币+1, ★★★很有帮助 2013-09-09 11:43:17
| 20*20mm是足够了，测试XPS一般都是原位处理的，把样品固定在样品托上，对样品表面进行清洁处理，一般是用氩离子枪轰击表面，从而清除表面沾污的外来原子和分子。对于单晶样品，轰击后还必须进行退火处理以消除表面损伤并使表面原子有序排列 |
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2楼2013-09-09 10:22:30
4楼2013-09-11 10:45:47
6楼2013-09-24 11:31:43