应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 其他分析 » 微流控芯片 小通道做不好。
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
51/1返回列表
查看: 2135  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

dingdings

金虫 (小有名气)

[求助] 微流控芯片 小通道做不好。

我们的微流控芯片用光刻法做的，宽度是30μm，在硅片上显影后通道非常好，但用PDMS浇注后明显发现通道一起被扯下来，请教大家这种小通道芯片的做法有没有什么绝招？ 是否SU-8胶不能加热太长时间，我们一般是95℃，2-3min。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-09-04 13:59:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zws3059

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

suruiqin: 编辑内容 2013-10-14 05:25
suruiqin: 请不要留QQ等联系方式，以免有心人日后骚扰，以为您编辑，希望下次注意~ 2013-10-14 05:26:40
我也做微流控芯片模具，咱们可以交流一下，可以站内联系我

[ Last edited by suruiqin on 2013-10-14 at 05:25 ]
赞一下 回复此楼
8楼2013-10-13 21:09:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

apple1010

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU8的mask做好后，需要用FOTS处理一下，使其表面更疏水，PDMS就很容易完好的弄下来了。
赞一下 回复此楼
人，总得有点追求！
2楼2013-09-05 04:36:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dingdings

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by apple1010 at 2013-09-05 04:36:49
SU8的mask做好后，需要用FOTS处理一下，使其表面更疏水，PDMS就很容易完好的弄下来了。

不是，是小通道很容易从硅片上掉下。我们有硅烷化的~
赞一下 回复此楼
3楼2013-09-05 09:48:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
release53: 金币+1, 感谢对虫友的帮助~~~ 2013-09-08 15:05:49
第一 你只说了宽度是30um，没有提到高度，这个是很关键的；
第二 su8胶一般都要2min烘烤时间 要不铰链不好，这个时间是没有问题的
第三，脱落一种原因是表面和PDMS粘附力太好或者是SU-8与基地粘附力太差，可以考虑增粘 一般好像用HMDS
另外，pdms是硅烷类材料吧 如果表面硅烷化是不是更加粘附在一起了 这个不太懂
赞一下 回复此楼
4楼2013-09-05 13:47:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 304材料求调剂 +4 钟llll 2026-03-26 4/200 2026-03-27 03:42 by wxiongid
[考研] 0703化学338求调剂！ +5 Zuhui0306 2026-03-26 6/300 2026-03-26 23:42 by 381988266
[考研] 324求调剂 +3 hanamiko 2026-03-26 3/150 2026-03-26 21:00 by sanrepian
[考研] 327求调剂 +7 prayer13 2026-03-23 7/350 2026-03-26 20:48 by 不吃魚的貓
[考研] 0856材料专硕353求调剂 +7 NIFFFfff 2026-03-20 7/350 2026-03-26 20:45 by 不吃魚的貓
[考研] 303求调剂 +7 元夕元 2026-03-20 8/400 2026-03-26 20:38 by 不吃魚的貓
[考研] 08开头275求调剂 +3 拉谁不重要 2026-03-26 3/150 2026-03-26 20:22 by barlinike
[考研] 085601求调剂总分293英一数二 +4 钢铁大炮 2026-03-24 4/200 2026-03-26 16:28 by dick_runner
[考研] 086000生物与医药292求调剂 +6 小小陈小小 2026-03-22 9/450 2026-03-26 15:58 by dick_runner
[考研] 275求调剂 +9 Micky11223 2026-03-25 11/550 2026-03-26 15:54 by 不吃魚的貓
[考研] 材料277求调剂 +5 min3 2026-03-24 5/250 2026-03-26 15:13 by zzll406
[考研] 308求调剂 +5 墨墨漠 2026-03-25 5/250 2026-03-25 22:19 by 544594351
[考研] 285求调剂 +3 AZMK 2026-03-24 3/150 2026-03-25 12:23 by userper
[考研] 求调剂323材料与化工 +4 1124361 2026-03-24 4/200 2026-03-25 11:19 by shulmg
[考研] 考研化学308分求调剂 +10 你好明天你好 2026-03-23 11/550 2026-03-25 10:23 by userper
[考研] 环境学硕288求调剂 +8 皮皮皮123456 2026-03-22 8/400 2026-03-23 23:47 by 热情沙漠
[考研] 一志愿国科过程所081700，274求调剂 +3 三水研0水立方 2026-03-23 3/150 2026-03-23 23:11 by MajorWen
[考研] 284求调剂 +3 yanzhixue111 2026-03-23 6/300 2026-03-23 22:58 by pswait
[考研] 333求调剂 +3 ALULU4408 2026-03-23 3/150 2026-03-23 19:04 by macy2011
[考研] 311求调剂 +3 26研0 2026-03-20 3/150 2026-03-22 14:46 by ColorlessPI
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭