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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 其他分析 » 微流控芯片 小通道做不好。
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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dingdings

金虫 (小有名气)

[求助] 微流控芯片 小通道做不好。

我们的微流控芯片用光刻法做的，宽度是30μm，在硅片上显影后通道非常好，但用PDMS浇注后明显发现通道一起被扯下来，请教大家这种小通道芯片的做法有没有什么绝招？ 是否SU-8胶不能加热太长时间，我们一般是95℃，2-3min。
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1楼 2013-09-04 13:59:57
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piaoxue123

金虫 (小有名气)
suruiqin: 屏蔽内容, 屏蔽，存在广告嫌疑 2013-10-14 05:24:41
本帖内容被屏蔽
7楼2013-09-28 17:20:01
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apple1010

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU8的mask做好后，需要用FOTS处理一下，使其表面更疏水，PDMS就很容易完好的弄下来了。
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人，总得有点追求！
2楼2013-09-05 04:36:49
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dingdings

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by apple1010 at 2013-09-05 04:36:49
SU8的mask做好后，需要用FOTS处理一下，使其表面更疏水，PDMS就很容易完好的弄下来了。

不是，是小通道很容易从硅片上掉下。我们有硅烷化的~
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3楼2013-09-05 09:48:41
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
release53: 金币+1, 感谢对虫友的帮助~~~ 2013-09-08 15:05:49
第一 你只说了宽度是30um，没有提到高度，这个是很关键的；
第二 su8胶一般都要2min烘烤时间 要不铰链不好，这个时间是没有问题的
第三，脱落一种原因是表面和PDMS粘附力太好或者是SU-8与基地粘附力太差，可以考虑增粘 一般好像用HMDS
另外，pdms是硅烷类材料吧 如果表面硅烷化是不是更加粘附在一起了 这个不太懂
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4楼2013-09-05 13:47:32
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