应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 其他分析 » 微流控芯片 小通道做不好。
52/1返回列表
查看: 2510  |  回复: 15
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

dingdings

金虫 (小有名气)

[求助] 微流控芯片 小通道做不好。

我们的微流控芯片用光刻法做的，宽度是30μm，在硅片上显影后通道非常好，但用PDMS浇注后明显发现通道一起被扯下来，请教大家这种小通道芯片的做法有没有什么绝招？ 是否SU-8胶不能加热太长时间，我们一般是95℃，2-3min。
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2013-09-04 13:59:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

fansy21

禁虫 (正式写手)
本帖内容被屏蔽
13楼2014-01-06 08:26:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答

apple1010

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SU8的mask做好后，需要用FOTS处理一下，使其表面更疏水，PDMS就很容易完好的弄下来了。
赞一下 回复此楼
人，总得有点追求！
2楼2013-09-05 04:36:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dingdings

金虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by apple1010 at 2013-09-05 04:36:49
SU8的mask做好后，需要用FOTS处理一下，使其表面更疏水，PDMS就很容易完好的弄下来了。

不是，是小通道很容易从硅片上掉下。我们有硅烷化的~
赞一下 回复此楼
3楼2013-09-05 09:48:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
release53: 金币+1, 感谢对虫友的帮助~~~ 2013-09-08 15:05:49
第一 你只说了宽度是30um，没有提到高度，这个是很关键的；
第二 su8胶一般都要2min烘烤时间 要不铰链不好，这个时间是没有问题的
第三，脱落一种原因是表面和PDMS粘附力太好或者是SU-8与基地粘附力太差，可以考虑增粘 一般好像用HMDS
另外，pdms是硅烷类材料吧 如果表面硅烷化是不是更加粘附在一起了 这个不太懂
赞一下 回复此楼
4楼2013-09-05 13:47:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 16 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭