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泵油可以反复过滤后重复使用吗，原子层沉积系统的真空抽不了，已排除漏气可能 已有3人参与
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原子层沉积系统配备的阿尔卡特旗下公司的油泵突然间真空就一点儿也抽不动了，可能是未反应掉的源二茂铁进入到了油泵中，那么把其过滤后泵油是不是可以反复用呢？ 但同时油中可能还会有三甲基铝，三甲基镉和硫代乙酰胺，这样子过滤操作会不会有什么危险？ |
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费姚永芬
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