应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 腐蚀防护 » 求助：关于钨(Tungsten)电化腐蚀
51/1返回列表
查看: 2329  |  回复: 4
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wardwood

金虫 (正式写手)

[求助] 求助：关于钨(Tungsten)电化腐蚀

我是做半导体工艺的，最近在工程上遇到一些钨(Ｗ，Tungsten)电化腐蚀的问题

我在底板（Al2O3）表面制备一些钨，和金(Ａｕ，ｇｏｌｄ)的ｐａｔｔｅｒｎ（ｐａｔｔｅｒｎ的长度为数ｕｍ，厚度是数十ｎｍ），由于设计需要，钨和金是相接触的。当我把底板浸入ＴＭＡＨ（（CH3）4NOH，　碱性）溶液，钨pattern就溶解入ＴＭＡＨ中。
我把金换成铜，也同样发生电化腐蚀，只是反应速度好像慢了一点。
同时，我还发现反应速度还和钨的结晶性有关，用不同方法制备钨的反应速度不同。

至于反应机理
我觉得是钨，和金或铜之间发生了原电池反应，钨失去电子，溶解于碱性溶液中，电子移动到金上，用于分解溶剂水。但是缺乏电化学的知识，找不到什么理论的依据。
比如说，　
１。　反应方程式，和Ｗ，　Ａｕ，　Ｃｕ电极电位的关系，和一些参考资料。
２。　为什么反应速度和钨的结晶性有关？

希望各位能够指点一下
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-08-21 22:23:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

corrtest

木虫 (著名写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by corrtest at 2013-08-22 14:19:05
可能发生了电偶腐蚀，W失去电子变成W离子（四价）进入溶液中。电子经过Au在其表面上可能发生的反应是H2O得电子变成OH-。

Au不发生变化。

反应速度和钨的结晶性有关：结晶性是物质本身的特性，对于结构本身就不 ...

是六价的W离子，为【WO4 】2-
赞一下 回复此楼
4楼2013-08-22 14:21:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答

cdgu

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wardwood: 金币+15, ★★★很有帮助, 谢谢帮助。我觉得Au是起催化作用，可惜找不到文献。你的关于结晶度的回答给我很大的启发，谢谢了 2013-08-22 21:46:01
1. 如果如你所说的发生置换反应的话，置换反应发生的可能性可以参照相应的标准电位表
2. 腐蚀速度或者说腐蚀电位是与材料的晶体结构和结晶度相关的。最简单的一个实验，我们观察金相组织，就是利用晶界和晶体内部原子排布不同，产生了有区别的电位。从而使晶界处腐蚀加剧。
希望对你有用。
赞一下 回复此楼
一定要有新意!
2楼2013-08-22 08:33:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

corrtest

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
wardwood: 金币+15, ★★★很有帮助, 谢谢！我也觉得Au起的是催化作用，说不定是光催化。可是找不到相关的文献， 2013-08-22 21:35:28
可能发生了电偶腐蚀，W失去电子变成W离子（四价）进入溶液中。电子经过Au在其表面上可能发生的反应是H2O得电子变成OH-。

Au不发生变化。

反应速度和钨的结晶性有关：结晶性是物质本身的特性，对于结构本身就不致密的金属其发生腐蚀的速度肯定是快些，与结构致密比较起来。
赞一下 回复此楼
3楼2013-08-22 14:19:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wardwood

金虫 (正式写手)
谢谢回答。
就如corrtest所说的，Au应该只起催化作用，因为我观察过Au表面，并没有发生溶解。
当考虑到催化作用时，反应的电位差就不知道怎么计算了。
我尝试把Au换成Cu，因为Cu的催化活性差一点，也可以作为导电材料使用，可惜还是发生腐蚀了。

关于结晶度的问题，楼上的2位的回答很有启发，谢谢了。我准备观察一下薄膜表面的粒径大小。
如果还有可参考的信息，请不吝指教。
赞一下 回复此楼
5楼2013-08-22 21:42:46
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 5 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[有机交流] OpenAI又攻克数学难题了，离AI做有机合成还有多远？ +8 wangyl_123 2026-10-10 12/600 2026-10-13 20:40 by Merryya
[硕博家园] 极限拉扯，如何抉择 +9 Isak0320 2026-10-12 13/650 2026-10-13 11:57 by Isak0320
[教师之家] 课题组会帮你通过考核么？ +4 好运来～9527 2026-10-10 7/350 2026-10-13 08:41 by xli1984
[基金申请] 入职后第一次管课题组的专利缴费，对账才发现官费比别人多掏了一倍 +6 13108017953 2026-10-08 6/300 2026-10-12 20:07 by w3w3y3
[公派出国] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:34 by XQNyDCa1Tk5n
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:26 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 9/450 2026-10-11 22:15 by XQNyDCa1Tk5n
[考博] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 22:11 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 22:06 by XQNyDCa1Tk5n
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 (EPI+-1)(金币-50) +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 10/500 2026-10-11 14:25 by VOMexwnDzOFZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 (EPI+-1)(金币-50) +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 14:05 by VOMexwnDzOFZ
[考研] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:51 by VOMexwnDzOFZ
[硕博家园] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 8/400 2026-10-11 13:45 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:54 by VOMexwnDzOFZ
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 7/350 2026-10-11 10:34 by VOMexwnDzOFZ
[考博] 招收博士生一名 +3 mandolin 2026-10-10 3/150 2026-10-11 10:21 by 不是山谷！
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +4 qR2AdCWTVtkw 2026-10-09 4/200 2026-10-11 03:14 by M0zrYVSAnxpE
[有机交流] 各位大佬，路线设计求助 +6 zapen 2026-10-08 8/400 2026-10-10 15:59 by zapen
[有机交流] 我应该选哪条合成路线让实验成功率高一些？ +5 jing816y 2026-10-08 9/450 2026-10-10 09:05 by zapen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭