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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 小虫需要一测厚度的工具，要求精读1微米，求推荐。谢谢
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二十一度

银虫 (小有名气)

[交流] 小虫需要一测厚度的工具，要求精读1微米，求推荐。谢谢

所测材料为一种薄膜，螺旋测微器行吗？精确度为一微米。谢谢
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1楼 2013-07-27 14:58:33
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
如果是foil的话，建议用激光测厚仪。
如果是衬底上沉积的薄膜的话，可以用光学轮廓仪，台阶仪，电镜等。
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8楼2013-07-28 01:26:22
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普通回帖

phantomderik

木虫 (小有名气)
★
二十一度(金币+1): 谢谢参与
我测量过薄膜的 当时用的是扫描电镜。

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2013-07-27 15:04:30
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jk4723158

铜虫 (小有名气)
★
二十一度(金币+1): 谢谢参与
螺旋测微仪不太好，AFM不错
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4楼2013-07-27 16:36:08
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mengxiang17

木虫 (小有名气)
★
二十一度(金币+1): 谢谢参与
台阶仪？
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5楼2013-07-27 18:13:05
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晚香玉

木虫 (正式写手)
★
二十一度(金币+1): 谢谢参与
做个截面SEM不就行了吗。。。
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6楼2013-07-27 19:45:51
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huanghuolin

木虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
为什么不用台阶仪？？
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7楼2013-07-27 23:00:18
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robinlhb

专家顾问 (正式写手)
Afm
或者断面sem
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10楼2013-07-28 12:42:06
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二十一度

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by phantomderik at 2013-07-27 15:04:30
我测量过薄膜的 当时用的是扫描电镜。

多谢！
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11楼2013-07-28 17:14:29
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二十一度

银虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by jk4723158 at 2013-07-27 16:36:08
螺旋测微仪不太好，AFM不错

非常感谢，多谢指教
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12楼2013-07-28 17:14:47
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二十一度

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 晚香玉 at 2013-07-27 19:45:51
做个截面SEM不就行了吗。。。

非常感谢，多谢指教
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13楼2013-07-28 17:14:53
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二十一度

银虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by huanghuolin at 2013-07-27 23:00:18
为什么不用台阶仪？？

非常感谢，多谢指教
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14楼2013-07-28 17:15:01
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二十一度

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-28 01:26:22
如果是foil的话，建议用激光测厚仪。
如果是衬底上沉积的薄膜的话，可以用光学轮廓仪，台阶仪，电镜等。

非常感谢，多谢指教
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15楼2013-07-28 17:15:07
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二十一度

银虫 (小有名气)
引用回帖:
10楼: Originally posted by robinlhb at 2013-07-28 12:42:06
Afm
或者断面sem

非常感谢，多谢指教
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16楼2013-07-28 17:15:16
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黄昏雨

金虫 (正式写手)
SEM就可以啦
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17楼2013-07-29 08:07:41
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ldf9766

铜虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
千分尺，螺旋测微仪
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18楼2013-07-29 08:53:54
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764399673

新虫 (初入文坛)
台阶仪即可
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19楼2013-08-02 17:25:32
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怕哦哦哦3楼
2013-07-27 15:32   回复  
二十一度(金币+1): 谢谢参与
dfjk123jk9楼
2013-07-28 10:39   回复  
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