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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳器件 » 小虫需要一测厚度的工具，要求精读1微米，求推荐。谢谢
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二十一度

银虫 (小有名气)

[交流] 小虫需要一测厚度的工具，要求精读1微米，求推荐。谢谢

所测材料为一种薄膜，螺旋测微器行吗？精确度为一微米。谢谢
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1楼 2013-07-27 14:58:33
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二十一度

银虫 (小有名气)
引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-28 01:26:22
如果是foil的话，建议用激光测厚仪。
如果是衬底上沉积的薄膜的话，可以用光学轮廓仪，台阶仪，电镜等。

非常感谢，多谢指教
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15楼2013-07-28 17:15:07
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phantomderik

木虫 (小有名气)
★
二十一度(金币+1): 谢谢参与
我测量过薄膜的 当时用的是扫描电镜。

[ 发自小木虫客户端 ]
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2楼2013-07-27 15:04:30
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jk4723158

铜虫 (小有名气)
★
二十一度(金币+1): 谢谢参与
螺旋测微仪不太好，AFM不错
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4楼2013-07-27 16:36:08
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晚香玉

木虫 (正式写手)
★
二十一度(金币+1): 谢谢参与
做个截面SEM不就行了吗。。。
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6楼2013-07-27 19:45:51
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