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[交流] 怎样在2微米厚的Mo片上刻蚀微米尺寸的洞？谢谢已有2人参与

怎样在2微米厚的Mo片上刻蚀微米尺寸的洞？谢谢

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1楼 2013-07-26 11:35:59

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Mo片？还是Mo的薄膜？
2um的话，可以用Ar直接轰，IBE搞定之。

2楼2013-07-26 12:30:40

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引用回帖:

2楼: Originally posted by yswyx at 2013-07-26 14:30:40
Mo片？还是Mo的薄膜？
2um的话，可以用Ar直接轰，IBE搞定之。

Mo的foil。需要mask吗？谢谢。

3楼2013-07-26 21:06:04

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两微米有点厚了离子轰击可能变得不均匀不好看了

4楼2013-07-27 02:30:05

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引用回帖:

3楼: Originally posted by phzrx at 2013-07-26 21:06:04
Mo的foil。需要mask吗？谢谢。...

foil的话，你要想办法把它粘在平整的平面上，比如硅片。
然后再做光刻，再做刻蚀。需要mask。
或者你能找到那种高精度的激光打孔设备，直接打。比如做芯片失效分析用的laser cut设备。

5楼2013-07-27 23:41:45

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