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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 无机/物化 » 无机化学 » 什么方法可以腐蚀氧化硅而保留多晶Al2O3
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promis160

禁虫 (初入文坛)
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1楼 2013-07-18 09:52:06
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下一站，守候

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
楼主还上木虫么？最后怎么解决的啊
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8楼2016-07-05 15:22:05
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cs104

金虫 (正式写手)

我宅，故我帅；我帅，故我在。
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
m0378: 回帖置顶 2013-07-20 02:17:15
sddtc888: 金币+1, 专家考核, 谢谢参与，欢迎常来！ 2013-07-21 23:49:19
sddtc888: 应助指数+1 2013-07-21 23:50:04
原子层沉积生长的Al2O3，一般是α－氧化铝，不溶于水、酸、弱碱。
而溶解二氧化硅的常见 HF和KOH，这两种东西都刚好溶解掉α－氧化铝。

百度说：浓磷酸（或者说焦磷酸）在高温下即可腐蚀二氧化硅，生成杂多酸。
高温下熔融硼酸盐或者硼酐亦可腐蚀二氧化硅。
高氯酸也可以溶解。
不知道可信度有多高。
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工作过的内容：chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
3楼2013-07-19 08:50:43
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promis160

禁虫 (初入文坛)
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4楼2013-07-19 09:00:15
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cs104

金虫 (正式写手)

我宅，故我帅；我帅，故我在。
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
sddtc888: 金币+1, 应助指数+1, 谢谢参与，欢迎常来！ 2013-07-21 23:49:56
引用回帖:
4楼: Originally posted by promis160 at 2013-07-19 09:00:15
非常感谢。热的稀磷酸也可以腐蚀ALD沉积的氧化铝，所以用弄磷酸应该不太行。百度上说氟化钾、氟化钠可以腐蚀玻璃，不知道和氧化铝反应吗？...

F-与铝离子能够形成 [AlF6]^3-的配合物，lgβn=19.8，
所以，应该会导致氧化铝膜溶解。
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工作过的内容：chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
5楼2013-07-21 08:13:34
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