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promis160

禁虫 (初入文坛)

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cs104

金虫 (正式写手)

我宅,故我帅;我帅,故我在。

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m0378: 回帖置顶 2013-07-20 02:17:15
sddtc888: 金币+1, 专家考核, 谢谢参与,欢迎常来! 2013-07-21 23:49:19
sddtc888: 应助指数+1 2013-07-21 23:50:04
原子层沉积生长的Al2O3,一般是α-氧化铝,不溶于水、酸、弱碱。
而溶解二氧化硅的常见 HF和KOH,这两种东西都刚好溶解掉α-氧化铝。

百度说:浓磷酸(或者说焦磷酸)在高温下即可腐蚀二氧化硅,生成杂多酸。
高温下熔融硼酸盐或者硼酐亦可腐蚀二氧化硅。
高氯酸也可以溶解。
不知道可信度有多高。
工作过的内容:chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
3楼2013-07-19 08:50:43
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promis160

禁虫 (初入文坛)

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4楼2013-07-19 09:00:15
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cs104

金虫 (正式写手)

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sddtc888: 金币+1, 应助指数+1, 谢谢参与,欢迎常来! 2013-07-21 23:49:56
引用回帖:
4楼: Originally posted by promis160 at 2013-07-19 09:00:15
非常感谢。热的稀磷酸也可以腐蚀ALD沉积的氧化铝,所以用弄磷酸应该不太行。百度上说氟化钾、氟化钠可以腐蚀玻璃,不知道和氧化铝反应吗?...

F-与铝离子能够形成 [AlF6]^3-的配合物,lgβn=19.8,
所以,应该会导致氧化铝膜溶解。
工作过的内容:chemically mechanical polishing、Nanoparticles polishing slurry、Lapping、etch、电镀及污水处理、丙烯酸树脂及其油墨
5楼2013-07-21 08:13:34
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linli2008

铁虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
请问您最后用什么方法溶解二氧化硅的呢?我现在也碰到了类似的问题,求指教
6楼2014-06-19 10:41:48
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