| 查看: 4530 | 回复: 18 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
王全龙ciomp木虫 (著名写手)
|
[求助]
求助 湿法腐蚀二氧化硅 边缘不光滑 求大家分析下原因 有图
|
||
主要工艺：1、清洗硅片。 2、120度2min烘干。 3、涂HMDS 3000rpm 40s。 4、匀胶 AZ701 3500rpm 50s （1um左右）。5、前烘95度1min热板。6、曝光 EVG620。7、显影 AZ300mif 浸泡在烧杯里 。8、坚膜110度2min。9、HF缓冲液腐蚀 速率大约80nm/min 腐蚀20多分钟。腐蚀完结果如图一个直径200um圆盘 边缘总是不光滑有沟槽，该怎么办大家帮我想想办法，先谢谢了。 腐蚀完14.jpg |
回复此楼» 猜你喜欢
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有284人回复
感谢参与，应助指数 +1
|
本帖内容被屏蔽 |
5楼2013-06-28 00:20:44
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2013-06-26 23:23:24
王全龙ciomp
木虫 (著名写手)
- 应助: 3 (幼儿园)
- 金币: 6717.7
- 散金: 41
- 红花: 1
- 帖子: 1695
- 在线: 249.4小时
- 虫号: 2064097
- 注册: 2012-10-16
- 性别: GG
- 专业: 光学和光电子学
3楼2013-06-27 21:23:24
yswyx
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
4楼2013-06-27 23:03:13
投票:
