磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO;IBE、RIE、WE刻蚀加工
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554楼2014-03-02 11:19:05
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556楼2014-03-03 20:13:04
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557楼2014-03-04 13:52:32
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