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硅片表面的超薄膜怎么表征?
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维尼熊欢仔
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硅片表面的超薄膜怎么表征?
我在硅片表面涂了一层纳米级或者微米级的膜,想对其进行详细的表征,但是很多测试都做不了啊?请大家给出出主意,都有哪些测试可以表征清楚这个 谢谢
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