应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗，离子束刻蚀的比较
51/1返回列表
查看: 4269  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[交流] 氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗，离子束刻蚀的比较

我想各位同志一定用过等离子刻蚀、等离子清洗和离子束刻蚀，或者其中的某一个，这三个仪器都可以用氩气作为气体源。所以，我很想知道，这三个有什么区别，都各自用在什么地方，怎么更好的利用这三个仪器。
请走过路过的朋友们都说说自己用的仪器以及对仪器的认识哈。
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料的表征 科研设备设施 薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴
1楼 2013-06-03 10:47:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hello_Jzz

银虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 毛荣荣 at 2014-05-28 09:15:59
请问离子束刻蚀和等离子体、反应性离子刻蚀一样吗？

当然不一样了。
回复此楼
15楼2014-05-28 10:21:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
文字游戏而已，本质都是氩离子轰击材料表面，别被绕进去了！
赞一下 回复此楼
2楼2013-06-04 01:54:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

hello_Jzz

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2013-06-04 01:54:23
文字游戏而已，本质都是氩离子轰击材料表面，别被绕进去了！

但三者总应该有区别吧，
我看到过有说法是：离子束刻蚀是物理方法，反应离子刻蚀是化学方法。
赞一下 回复此楼
3楼2013-06-04 10:33:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

lukegan

禁虫 (初入文坛)
★
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
4楼2013-06-06 10:52:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭