24小时热门版块排行榜

>论坛更新日志 (3348)
>虫友互识 (645)
>导师招生 (181)
>文献求助 (157)
>硕博家园 (88)
>考博 (86)
>论文投稿 (81)
>基金申请 (63)
>教师之家 (63)
>博后之家 (44)
>公派出国 (40)
>考研 (35)
>论文道贺祈福 (32)
>找工作 (27)
>休闲灌水 (25)
>外文书籍求助 (15)

返回列表

当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

hello_Jzz

银虫 (小有名气)

应助: 1 (幼儿园)
金币: 1464.4
帖子: 226
在线: 114.5小时
虫号: 1321426

[交流] 氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗，离子束刻蚀的比较

我想各位同志一定用过等离子刻蚀、等离子清洗和离子束刻蚀，或者其中的某一个，这三个仪器都可以用氩气作为气体源。所以，我很想知道，这三个有什么区别，都各自用在什么地方，怎么更好的利用这三个仪器。
请走过路过的朋友们都说说自己用的仪器以及对仪器的认识哈。

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料的表征

科研设备设施

薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

限项规定已经有6人回复
西南交通大学国家级人才团队2026年博士研究生招生（考核制）—机械、材料、力学方向已经有3人回复
救命帖已经有6人回复
英文综述是否需要润色及查重已经有5人回复
为什么nbs上溴没有产物点出现呢已经有9人回复
招博士已经有3人回复
最失望的一年已经有18人回复

» 抢金币啦！回帖就可以得到:

查看全部散金贴

1楼 2013-06-03 10:47:32

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

leongoall

专家顾问 (知名作家)

引用回帖:

12楼: Originally posted by 陈洁涵 at 2014-04-19 03:17:57
那请问您了解表面改性处理这方面吗？我看到过低温等离子处理柔性聚合物基底，可是条件限制不方便，如果用离子束处理效果差别会很大嘛？是不是活性较低？...

不好意思，前面对氩等离子体我没有提及一些亚稳态的原子以及一些活性粒子，这些在离子束里面应该是没有或者浓度很低的，因为离子束的激发能量一般都是取定的。
对于柔性聚合物基底，用氩等离子体处理可能会改变表面一些物理特性，如吸水性（可通过测量处理前后的水滴张角来比较）等。但如果用离子束，我想效果肯定会查，因为这里主要是氩离子，如果你加一点能量，那么直接将你的聚合物溅射刻蚀掉了