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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗，离子束刻蚀的比较
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)

[交流] 氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗，离子束刻蚀的比较

我想各位同志一定用过等离子刻蚀、等离子清洗和离子束刻蚀，或者其中的某一个，这三个仪器都可以用氩气作为气体源。所以，我很想知道，这三个有什么区别，都各自用在什么地方，怎么更好的利用这三个仪器。
请走过路过的朋友们都说说自己用的仪器以及对仪器的认识哈。
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1楼 2013-06-03 10:47:32
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
引用回帖:
12楼: Originally posted by 陈洁涵 at 2014-04-19 03:17:57
那请问您了解表面改性处理这方面吗？我看到过低温等离子处理柔性聚合物基底，可是条件限制不方便，如果用离子束处理效果差别会很大嘛？是不是活性较低？...

不好意思，前面对氩等离子体我没有提及一些亚稳态的原子以及一些活性粒子，这些在离子束里面应该是没有或者浓度很低的，因为离子束的激发能量一般都是取定的。
对于柔性聚合物基底，用氩等离子体处理可能会改变表面一些物理特性，如吸水性（可通过测量处理前后的水滴张角来比较）等。但如果用离子束，我想效果肯定会查，因为这里主要是氩离子，如果你加一点能量，那么直接将你的聚合物溅射刻蚀掉了
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13楼2014-04-19 17:45:20
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leongoall

专家顾问 (知名作家)
★
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
文字游戏而已，本质都是氩离子轰击材料表面，别被绕进去了！
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2楼2013-06-04 01:54:23
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hello_Jzz

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by leongoall at 2013-06-04 01:54:23
文字游戏而已，本质都是氩离子轰击材料表面，别被绕进去了！

但三者总应该有区别吧，
我看到过有说法是：离子束刻蚀是物理方法，反应离子刻蚀是化学方法。
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3楼2013-06-04 10:33:12
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lukegan

禁虫 (初入文坛)
★
hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
本帖内容被屏蔽
4楼2013-06-06 10:52:01
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