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[交流]
氩气用于等离子刻蚀、等离子清洗，离子束刻蚀的比较
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我想各位同志一定用过等离子刻蚀、等离子清洗和离子束刻蚀，或者其中的某一个，这三个仪器都可以用氩气作为气体源。所以，我很想知道，这三个有什么区别，都各自用在什么地方，怎么更好的利用这三个仪器。 请走过路过的朋友们都说说自己用的仪器以及对仪器的认识哈。 |
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hello_Jzz(金币+1): 谢谢参与
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4楼2013-06-06 10:52:01