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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 在有机物薄膜上磁控溅射金属电极的问题
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花开木木

金虫 (正式写手)

[求助] 在有机物薄膜上磁控溅射金属电极的问题

RT，能否在有机薄膜上磁控溅射一层纳米铝呢？磁控溅射对该有机薄膜有什么方面的要求么？
感谢大神~~
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1楼2013-05-15 08:47:42
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wang_zz

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ANSON_sun at 2013-05-15 09:05:03
可以呀。只要保证铝的速度适中，不要太快破坏有机薄膜，3AS-1差不多。

请问这样的低速对有机薄膜的损伤大概有多大呢？还是可以忽略？我是做50nm左右的有机薄膜，想做一个电极，之前溅射好像直接就穿了
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6楼2020-11-04 19:48:25
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ANSON_sun

木虫 (著名写手)

老大

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
可以呀。只要保证铝的速度适中，不要太快破坏有机薄膜，3AS-1差不多。
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一天一斤币~
2楼2013-05-15 09:05:03
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花开木木

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by ANSON_sun at 2013-05-15 09:05:03
可以呀。只要保证铝的速度适中，不要太快破坏有机薄膜，3AS-1差不多。

喔，这样啊~~那这个跟有机物的种类没有关系吗？
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3楼2013-05-15 09:56:27
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qwcmos

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
花开木木: 金币+20, ★★★★★最佳答案 2013-10-29 23:45:29
可以在有机物表面沉积Al薄膜。
首先沉底温度不能太高，200度以内吧。
再次，溅射功率不能太大，要小功率慢速溅射。
即使沉底不加温，高溅射功率沉积Al薄膜也会造成衬底温度升高，
导致衬底失效。

我猜楼主是要在柔性衬底上做光电薄膜吧。
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4楼2013-05-16 12:59:30
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