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英雄无刀

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖


314977903: 金币+1, 应助指数+1, 感谢参与应助! 2013-09-24 10:45:44
衬底硅片表面氧化层,这个百度就有。
还得看你的使用情形,如果是工业生产的话,就参照3楼的加工方法。如果是实验室买回来做实验的硅衬底表面处理的话,不需要那么复杂,APM和SPM可以省去
11楼2013-09-24 10:40:21
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杜xiao若

新虫 (初入文坛)

★ ★
314977903: 金币+2, 欢迎新虫常来交流! 2015-01-19 08:13:02
引用回帖:
5楼: Originally posted by yswyx at 2013-05-07 11:47:02
非常快!原生氧化层,瞬间的事儿,保守10秒内肯定搞定了。你可以用BOE,浓度低,反应平缓。...

如果是干氧热氧化法生长二氧化硅之后,想要去除背面的氧化层怎么办呢?
12楼2015-01-18 19:25:19
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


引用回帖:
12楼: Originally posted by 杜xiao若 at 2015-01-18 19:25:19
如果是干氧热氧化法生长二氧化硅之后,想要去除背面的氧化层怎么办呢?...

正面保护,然后用HF去除背面氧化层,然后清洗。
如果觉得这个不方便,可以让专门的公司做,比如苏州锐材。
13楼2015-01-19 15:24:51
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