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银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

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314977903: 金币+1, 应助指数+1, 感谢参与应助！ 2013-09-24 10:45:44

衬底硅片表面氧化层，这个百度就有。
还得看你的使用情形，如果是工业生产的话，就参照3楼的加工方法。如果是实验室买回来做实验的硅衬底表面处理的话，不需要那么复杂，APM和SPM可以省去

11楼2013-09-24 10:40:21

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新虫 (初入文坛)

★ ★
314977903: 金币+2, 欢迎新虫常来交流！ 2015-01-19 08:13:02

引用回帖:

5楼: Originally posted by yswyx at 2013-05-07 11:47:02
非常快！原生氧化层，瞬间的事儿，保守10秒内肯定搞定了。你可以用BOE，浓度低，反应平缓。...

如果是干氧热氧化法生长二氧化硅之后，想要去除背面的氧化层怎么办呢？

12楼2015-01-18 19:25:19

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专家顾问 (著名写手)

引用回帖:

12楼: Originally posted by 杜xiao若 at 2015-01-18 19:25:19
如果是干氧热氧化法生长二氧化硅之后，想要去除背面的氧化层怎么办呢？...

正面保护，然后用HF去除背面氧化层，然后清洗。
如果觉得这个不方便，可以让专门的公司做，比如苏州锐材。

13楼2015-01-19 15:24:51

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