| 查看: 760 | 回复: 5 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
求助MOCVD腔体冷却构造
|
||
|
http://jj.muchong.com/image3/2c/6e/2405150_1365925411_926.jpg 最近在了解MOCVD(垂直式)机台腔体冷却的部分 想知道说 腔体壁面似乎有冷壁式及热壁式 请问有冷壁式的设计相关讯息或信息分享吗? 像是壁面温度通常要控制在几度? 冷却液体或气体? 壁面材质? 流速大小? 腔壁里是怎样设计? 另外腔体里的电极盘温度大概怎样? 以及所配置的冷却水流速多大? 希望有相关信息 都可以在这分享交流一下唷 拜托各位神人了 Orz |
回复此楼» 猜你喜欢
275求调剂
已经有10人回复
-
286求调剂
已经有6人回复
-
083000学硕274求调剂
已经有5人回复
-
【求调剂】085601材料工程专硕 | 总分272 |
已经有5人回复
-
275求调剂
已经有13人回复
-
0856，材料与化工321分求调剂
已经有8人回复
-
085701环境工程，267求调剂
已经有12人回复
-
320分，材料与化工专业，求调剂
已经有7人回复
-
085701环境工程求调剂
已经有8人回复
-
295材料工程专硕求调剂
已经有5人回复
5楼2013-04-26 13:03:56
2楼2013-04-18 01:04:53
fangbin468
金虫 (小有名气)
- 应助: 12 (小学生)
- 金币: 743.3
- 散金: 30
- 红花: 2
- 帖子: 128
- 在线: 137.3小时
- 虫号: 1018101
- 注册: 2010-05-14
- 性别: GG
- 专业: 市场营销
3楼2013-04-23 21:55:34
fangbin468
金虫 (小有名气)
- 应助: 12 (小学生)
- 金币: 743.3
- 散金: 30
- 红花: 2
- 帖子: 128
- 在线: 137.3小时
- 虫号: 1018101
- 注册: 2010-05-14
- 性别: GG
- 专业: 市场营销
4楼2013-04-23 21:56:55
