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求助MOCVD腔体冷却构造
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http://jj.muchong.com/image3/2c/6e/2405150_1365925411_926.jpg 最近在了解MOCVD(垂直式)机台腔体冷却的部分 想知道说 腔体壁面似乎有冷壁式及热壁式 请问有冷壁式的设计相关讯息或信息分享吗? 像是壁面温度通常要控制在几度? 冷却液体或气体? 壁面材质? 流速大小? 腔壁里是怎样设计? 另外腔体里的电极盘温度大概怎样? 以及所配置的冷却水流速多大? 希望有相关信息 都可以在这分享交流一下唷 拜托各位神人了 Orz |
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