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ITO靶材的溅射放电弧 已有4人参与
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最近做了一块ITO靶，外送进行镀膜试验（自己没有镀膜机），溅射1h后没有打弧放电现象。这个是不是意味着靶材质量还可以？ 测试方不肯再做下去了，说是太耗费时间，也不肯收费做。 |
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