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金虫 (正式写手)


[求助] 急求氧化铝XRD图谱分析

我用PVD法制备的氧化铝薄膜,由于薄膜很薄,我就用XRD掠入射测试,图谱出来了,但标准卡片里没有对应的  这是什么原因呢?望高手帮忙分析一下哈
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1164528573

金虫 (正式写手)


引用回帖:
6楼: Originally posted by zhilihu at 2013-04-05 18:59:55
你自己对吧,反正我上午差不多能对上,之前电脑东西杂东西太多了,把下载你的XRD文件删了,如果还对不上的话联系我邮箱huzhili1986@126.com

你好,我用物理气相沉积在非晶薄膜上沉积的铝薄膜,在空气中缓慢氧化成氧化铝薄膜,由于是原子级的铝氧化反应,反应应该非常剧烈,产物就出现上面的XRD图谱了,我想是不是因为薄膜不是很平整造成的呢,要不就麻烦你在帮我看一下哈,谢谢了哦
8楼2013-04-05 19:23:06
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zhilihu

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
1164528573: 金币+5, 有帮助 2013-04-05 15:51:38
crity328: 金币+1, 感谢交流,欢迎常来! 2013-04-05 16:04:01
后面的两个强峰应该是你的基底的峰,前面一个馒头峰,后面4个小峰应该是你薄膜的峰,具体我也没对上
2楼2013-04-05 10:28:52
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1164528573

金虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by zhilihu at 2013-04-05 10:28:52
后面的两个强峰应该是你的基底的峰,前面一个馒头峰,后面4个小峰应该是你薄膜的峰,具体我也没对上

但是我用的基底是非晶硅片哈,你比对起来和标准卡片相差多少哈?
3楼2013-04-05 15:52:39
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1164528573

金虫 (正式写手)


引用回帖:
2楼: Originally posted by zhilihu at 2013-04-05 10:28:52
后面的两个强峰应该是你的基底的峰,前面一个馒头峰,后面4个小峰应该是你薄膜的峰,具体我也没对上

并且我测试了一下XPS 完全是氧化铝的峰啊
4楼2013-04-05 15:53:12
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