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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 分析 » 光谱分析 » 急求氧化铝XRD图谱分析
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1164528573

金虫 (正式写手)

[求助] 急求氧化铝XRD图谱分析

我用PVD法制备的氧化铝薄膜，由于薄膜很薄，我就用XRD掠入射测试，图谱出来了，但标准卡片里没有对应的  这是什么原因呢？望高手帮忙分析一下哈
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1楼 2013-04-04 19:46:17
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zhilihu

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
1164528573: 金币+5, ★有帮助 2013-04-05 15:51:38
crity328: 金币+1, 感谢交流，欢迎常来！ 2013-04-05 16:04:01
后面的两个强峰应该是你的基底的峰，前面一个馒头峰，后面4个小峰应该是你薄膜的峰，具体我也没对上
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2楼2013-04-05 10:28:52
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1164528573

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhilihu at 2013-04-05 10:28:52
后面的两个强峰应该是你的基底的峰，前面一个馒头峰，后面4个小峰应该是你薄膜的峰，具体我也没对上

但是我用的基底是非晶硅片哈，你比对起来和标准卡片相差多少哈？
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3楼2013-04-05 15:52:39
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1164528573

金虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by zhilihu at 2013-04-05 10:28:52
后面的两个强峰应该是你的基底的峰，前面一个馒头峰，后面4个小峰应该是你薄膜的峰，具体我也没对上

并且我测试了一下XPS 完全是氧化铝的峰啊
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4楼2013-04-05 15:53:12
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zhilihu

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 1164528573 at 2013-04-05 15:52:39
但是我用的基底是非晶硅片哈，你比对起来和标准卡片相差多少哈？...

后面两个强风不可能是薄膜的峰，没那么强的。前面的峰也能和氧化铝对上，不过不是很确定
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1164528573
5楼2013-04-05 18:56:27
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zhilihu

木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

内容已删除
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6楼2013-04-05 18:59:55
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1164528573

金虫 (正式写手)
送鲜花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by zhilihu at 2013-04-05 18:56:27
后面两个强风不可能是薄膜的峰，没那么强的。前面的峰也能和氧化铝对上，不过不是很确定...

我的薄膜有4、5十纳米厚哦，我还想问下你用的是XRD卡片库是那一年的哈
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7楼2013-04-05 19:04:29
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1164528573

金虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by zhilihu at 2013-04-05 18:59:55
你自己对吧，反正我上午差不多能对上，之前电脑东西杂东西太多了，把下载你的XRD文件删了，如果还对不上的话联系我邮箱huzhili1986@126.com

你好，我用物理气相沉积在非晶薄膜上沉积的铝薄膜，在空气中缓慢氧化成氧化铝薄膜，由于是原子级的铝氧化反应，反应应该非常剧烈，产物就出现上面的XRD图谱了，我想是不是因为薄膜不是很平整造成的呢，要不就麻烦你在帮我看一下哈，谢谢了哦
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8楼2013-04-05 19:23:06
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