磁控溅射、电子束蒸镀制备金属薄膜Au,Ag,Al,Cu,Cr,Fe,Mo,Ni,非金属薄膜Al2O3,AZO,ITO,Si,SiO2,Si3N4,ZnO;IBE、RIE、WE刻蚀加工
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68楼2013-02-20 17:09:52
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69楼2013-02-20 17:12:02
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70楼2013-02-20 17:16:36
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