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周小龙

木虫 (正式写手)

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[交流] 关于等离子CVD合成类金刚石薄膜所用碳源和密度的关系

利用等离子CVD合成类金刚石薄膜的密度和所用碳源，原料气体，比如甲烷，乙烯，乙炔，苯等，之间有什么关系？
目前我只是用苯，真空状态氩气作为输送气体合成类金刚石薄膜，老板说用苯能合成出来高密度膜，而用其他则不容易？不知道为什么？
苯环中碳元素全部是SP2杂化轨道构成的，在形成等离子解离后，很容易形成SP3杂化状态吗？为什么，不然的话何以沉积出来高密度薄膜啊？*（这里的高密度指的是密度在2以上）

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1楼2013-01-07 16:26:50

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周小龙

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引用回帖:

24楼: Originally posted by userhung at 2013-01-08 21:57:55
http://cpfd.cnki.com.cn/Article/CPFDTOTAL-ZGCZ200411001553.htm
http://wenku.baidu.com/view/cbb6e503cc1755270722084a.html
http://wenku.baidu.com/view/db01068371fe910ef12df86e.html
http://www.doc88. ...

我这里无法下载啊，帮帮下载个发到邮箱了呗！非常感谢！

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112楼2013-01-09 10:04:30

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[交流] 关于等离子CVD合成类金刚石薄膜所用碳源和密度的关系

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