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syhgdxxx

铜虫 (初入文坛)

[求助] 压电厚膜用阻抗分析仪测介电常数

请问各位,知道怎么用阻抗分析仪测压电厚膜的介电常数吗
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syhgdxxx

铜虫 (初入文坛)

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引用回帖:
3楼: Originally posted by fly_feiyu at 2012-12-03 17:44:38
测电容,再根据平板电容器公式转换为介电常数

测试很简单,用探针台接上你的样品上下电极,再将探针台连在阻抗分析仪上,扫频即可
计算的前提是你得知道电极面积和样品厚度

谢谢楼上的相助,但是想问一下,所用的厚膜上了一层银电极,厚膜刷在硅基板上,那还用涂下电极吗?
4楼2012-12-08 15:09:17
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silveruranus

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
测C-F曲线,转化为介电常数
2楼2012-12-03 10:52:29
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fly_feiyu

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
测电容,再根据平板电容器公式转换为介电常数

测试很简单,用探针台接上你的样品上下电极,再将探针台连在阻抗分析仪上,扫频即可
计算的前提是你得知道电极面积和样品厚度

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3楼2012-12-03 17:44:38
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fly_feiyu

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

一般硅基片上会溅射一层Pt电极作为底电极,也用用其他材料做底电极的
5楼2012-12-08 17:40:30
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