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jiangjun328木虫 (正式写手)
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急问加工一个普通的平面MEMS器件的价格 已有1人参与
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| 本人没做过MEMS，但想进入该领域学习。请问加工一个普通的平面MEMS器件的价格大概要花多少钱，里面含电枢等基本的单元。整个器件的尺寸应该在5mm*5mm左右，谢谢！ |
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yswyx 
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2楼2012-11-22 23:01:56
jiangjun328
木虫 (正式写手)
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3楼2012-11-22 23:16:48
yswyx
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4楼2012-11-23 01:08:31
myIDname
木虫 (著名写手)
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5楼2012-11-24 22:12:14
yswyx
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【答案】应助回帖
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即使器件本身很简单，仍然需要很好的工艺知识才能完成工艺设计和版图设计，所以只流一片或者很少几片基本上只能验证最基本的工艺和器件设计的兼容性，得不到任何有价值的结构。这样做的花费估计在一两万块钱，但毫无价值。 如果送到北大这种代工的地方，北大都是有成熟工艺库的，只能按照工艺库加工，所以器件设计受限制很大。价格方面，如果只保证流片，不保证结果的话，几万块肯定要花的。如果要保证结果，那没几十万是不可能的，那是需要当作项目做的。其它机构类似，纳米所的工艺更灵活些。 商业化公司的种类就很多了，如果像老外那样有比较成熟的流程，能帮助你设计，收费估计从几万到几十万美金不等。如果是像我自己的公司，和老外类似，但是相对要便宜很多。商业公司和研究机构的最大区别是商业公司会利用自己的经验帮助你完成器件设计和工艺设计，并且会对量产的方案给予支持。 |
6楼2012-11-25 13:31:04
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7楼2014-03-10 17:47:08
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