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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » 有波导的基底表面能用旋涂涂平吗？
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buffer3568

新虫 (小有名气)

[求助] 有波导的基底表面能用旋涂涂平吗？

基底上有图案，（槽深约3微米）旋涂涂膜后膜上也会印出图案，下面有沟的地方上面也有沟，能有什么方法涂完膜上面是平的吗？
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yswyx的关于光刻的各种回复

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1楼 2012-11-21 14:04:25
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎积极交流 2012-11-22 07:31:49
用比较厚的胶来涂，或者多涂几次。
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2楼2012-11-21 15:03:57
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