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iamikaruk

木虫 (著名写手)

[求助] 求助微纳加工光阑

我们想在铂上加工如图所示的光阑图案,光阑的直径为50-80个微米,请问有什么比较好的方法进行加工呢?谢谢!

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[img]http://osu.ppy.sh/stat2/iamikaruk-0.png[/img]
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yswyx

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【答案】应助回帖

引用回帖:
7楼: Originally posted by iamikaruk at 2012-11-16 17:23:54
光刻出来的线宽应该不够吧?这个图上要求1 um了。...

你这个只能光刻做,1um对普通光刻来说只是良率的问题。如果你对图形边缘有特别的要求,那么才考虑特殊的光刻手段。
光刻是万能!!!
8楼2012-11-16 18:12:46
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有些看不懂,光阑就是孔啊洞啊啥的,你这个在蓝色的光阑中间一条条的是啥?这些一条条的也是光阑?
Pt上加工光阑?Pt是铂片吗?那片材多厚?还是镀在玻璃或者上的Pt薄膜,那薄膜多厚?
要加工多少个?光阑的外形有啥要求?
描述清楚了再联系我吧。
2楼2012-11-15 19:57:22
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iamikaruk

木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-15 19:57:22
有些看不懂,光阑就是孔啊洞啊啥的,你这个在蓝色的光阑中间一条条的是啥?这些一条条的也是光阑?
Pt上加工光阑?Pt是铂片吗?那片材多厚?还是镀在玻璃或者上的Pt薄膜,那薄膜多厚?
要加工多少个?光阑的外形有 ...

就是光阑上面有光栅。那些一条条是遮蔽,不让光束或电子束透过。
Pt是铂片,厚度不厚,<1 um,悬空,外形无特殊要求。
加工量很小,我们这种加工是属于探索性研究,改造仪器设备所需要的关键部件,不过预期这种光阑是消耗品,需要经常更换。
[img]http://osu.ppy.sh/stat2/iamikaruk-0.png[/img]
3楼2012-11-15 22:17:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by iamikaruk at 2012-11-15 22:17:18
就是光阑上面有光栅。那些一条条是遮蔽,不让光束或电子束透过。
Pt是铂片,厚度不厚,<1 um,悬空,外形无特殊要求。
加工量很小,我们这种加工是属于探索性研究,改造仪器设备所需要的关键部件,不过预期这 ...

那些光栅也是要加工的是吗?他们的最小尺寸是什么样的,从图片估计有两三个微米?看到图上还有其它颜色显示,他们代表的是什么含义?
你的Pt片如果只有1um以下的厚度,你怎么handle?是不是有支撑?
加工量小不是问题,关键是你要告诉我最详细的要求,更具体的还是邮件讨论吧,免得你的探索暴露太多wangyx@resemi.com
4楼2012-11-16 13:41:15
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