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iamikaruk木虫 (著名写手)
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[求助]
求助微纳加工光阑
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我们想在铂上加工如图所示的光阑图案，光阑的直径为50-80个微米，请问有什么比较好的方法进行加工呢？谢谢！ 无标题.png |
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iamikaruk
木虫 (著名写手)
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3楼2012-11-15 22:17:18
yswyx 
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2楼2012-11-15 19:57:22
yswyx
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【答案】应助回帖
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那些光栅也是要加工的是吗？他们的最小尺寸是什么样的,从图片估计有两三个微米？看到图上还有其它颜色显示，他们代表的是什么含义？ 你的Pt片如果只有1um以下的厚度，你怎么handle？是不是有支撑？ 加工量小不是问题，关键是你要告诉我最详细的要求，更具体的还是邮件讨论吧，免得你的探索暴露太多  。wangyx@resemi.com |
4楼2012-11-16 13:41:15
5楼2012-11-16 16:01:31
