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如何选择转移石墨烯用的SiO2/Si片已有1人参与
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请问一下转移石墨烯用的SiO2/Si片 SiO2厚度针对光学显微镜,电学测试等等有什么具体要求?其下面的Si片有什么要求,是需要掺杂的,还是怎么样都可以?还有是否需要单面抛光?Si片的电阻率有要求吗? 要是有用得好的厂家推荐一个吧,着急买,请大家帮帮忙 |
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6楼2012-11-17 09:15:01
蒋青松
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2楼2012-11-16 07:56:13
fengyunli
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【答案】应助回帖
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liuxiaoyucrd: 金币+10, ★有帮助, 谢谢,想请问一下你们买的是什么价格?多大一块多少钱? 2012-11-16 15:37:53
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-11-17 15:21:11
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蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-11-17 15:21:11
| 一般来说,300 nm SiO2 wafer 在光学显微镜下衬度比较好,很多文献上有说的。对于电学测量,看看你要不要加backgate了,如果加backgate的话,需要Si是高掺杂的低电阻。SiO2层越薄,gate响应会强一些。但是太薄了,会有击穿的问题。还有就是如果氧化层的质量不好,有pinhole的话,也容易出现leakage。 unversal wafer 这个公司的不错,我们都是从那里买的。 |
3楼2012-11-16 13:32:23
fengyunli
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4楼2012-11-16 13:33:16













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