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ev87

金虫 (正式写手)

[求助] 旋涂溶胶镀膜问题一二

最近开始做溶胶旋涂镀膜,但是发现溶胶旋涂在石英基体表面一层后,放入60度烘箱干燥,干燥后拿出发现膜都缩小了,应该是水分散失导致的,因为小弟是第一次做旋涂镀膜,请问有人知道如果旋涂镀的膜会缩小那这样还能有什么效果啊?
       为什么还有人做旋涂镀膜?是不是我做的不对?我之前对石英基体RCA清洗过了,最后用吹风机吹干,配置的溶胶为草酸氧钒,里面掺入了乙二醇和柠檬酸(与钒的离子摩尔数一样),是不是我还需要改进一些才能解决?
多谢啊!
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yswyx

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tjcdp: 金币+1, 代楼主奖励 2013-01-05 20:29:04
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7楼: Originally posted by ev87 at 2012-11-04 22:21:11
我旋涂设置的是低速350,10s,高速3000,15s,这方面有问题么?旋涂需要注意哪些 事项啊?可能还是溶胶没有弄好,我再试试...

旋涂没问题的。涂覆出来薄膜的厚度和你的样品黏度有关,和你设的最高转速有关。低速是用来把胶甩开的。均匀性和所有的都有关系。
理论上说,薄膜收缩,说明你薄膜和衬底的粘附性不太好,而且挥发也可能太快了些。
8楼2012-11-04 23:56:51
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ev87

金虫 (正式写手)

自己顶下。。有用过旋涂机镀溶胶膜的帮帮忙~~
2楼2012-11-03 22:49:59
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yswyx

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【答案】应助回帖

★ ★ ★
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ev87: 金币+2, ★★★很有帮助, 谢谢~第一次做,很多都不太清楚。。 2012-11-04 15:38:09
tjcdp: 金币+1, 代楼主奖励 2013-01-05 20:29:15
什么叫“那这样还能有什么效果啊” ?什么叫“为什么还有人用旋涂镀膜”?
你能把想干什么说得清楚一些吗?发完帖子自己读一遍比较好。
btw:头一次听说有人拿吹风机吹清洗完的片子的,你们实验室的传统吗?吹风机脏的程度是你无法想象的,你好不容易清洗好的片子,瞬间就被你全部沾污了。以后用氮气,然后进烘箱(不能有热风循环)

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3楼2012-11-04 15:30:50
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ev87

金虫 (正式写手)

送鲜花一朵
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-04 15:30:50
什么叫“那这样还能有什么效果啊” ?什么叫“为什么还有人用旋涂镀膜”?
你能把想干什么说得清楚一些吗?发完帖子自己读一遍比较好。
btw:头一次听说有人拿吹风机吹清洗完的片子的,你们实验室的传统吗?吹风机 ...

我想sol-gel镀膜对基体洁净度要求肯定很高,还有一个问题请问下您啊,就是旋涂薄膜过后,干燥,涂过的薄膜会收缩,本来想涂1cm*1cm尺寸的,但是干燥后就缩小了,是不是旋涂溶胶都会这样,还是多涂几次来解决?谢谢
4楼2012-11-04 15:41:37
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ev87

金虫 (正式写手)

谢谢你的意见,还有问题发你啦,麻烦能再帮忙回答下么
5楼2012-11-04 15:43:07
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yswyx

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引用回帖:
4楼: Originally posted by ev87 at 2012-11-04 15:41:37
我想sol-gel镀膜对基体洁净度要求肯定很高,还有一个问题请问下您啊,就是旋涂薄膜过后,干燥,涂过的薄膜会收缩,本来想涂1cm*1cm尺寸的,但是干燥后就缩小了,是不是旋涂溶胶都会这样,还是多涂几次来解决?谢谢...

你这个问题肯定和溶胶成分有关,缩小不是旋涂造成的。我只对涂覆了解哦,溶胶的性质了解不多,你还是看看有没有人对你使用的溶胶有了解。
涂覆的问题你可以问我
6楼2012-11-04 16:21:59
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ev87

金虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-04 16:21:59
你这个问题肯定和溶胶成分有关,缩小不是旋涂造成的。我只对涂覆了解哦,溶胶的性质了解不多,你还是看看有没有人对你使用的溶胶有了解。
涂覆的问题你可以问我...

我旋涂设置的是低速350,10s,高速3000,15s,这方面有问题么?旋涂需要注意哪些 事项啊?可能还是溶胶没有弄好,我再试试
7楼2012-11-04 22:21:11
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ev87

金虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-04 23:56:51
旋涂没问题的。涂覆出来薄膜的厚度和你的样品黏度有关,和你设的最高转速有关。低速是用来把胶甩开的。均匀性和所有的都有关系。
理论上说,薄膜收缩,说明你薄膜和衬底的粘附性不太好,而且挥发也可能太快了些。...

我放入的是60度烘箱干燥,温度我再试着降低点,另外应该也是薄膜与衬底粘附性不好,旋涂的膜粘度大点是不是可以提高其与衬底的粘附性?还是粘度有个大致范围?
9楼2012-11-05 00:24:12
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s1005044

银虫 (小有名气)

引用回帖:
8楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-04 23:56:51
旋涂没问题的。涂覆出来薄膜的厚度和你的样品黏度有关,和你设的最高转速有关。低速是用来把胶甩开的。均匀性和所有的都有关系。
理论上说,薄膜收缩,说明你薄膜和衬底的粘附性不太好,而且挥发也可能太快了些。...

薄膜和衬底的粘附性不太好该怎么办呢,加大粘度吗
10楼2012-11-25 16:23:18
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