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xj170701059

新虫 (小有名气)

[求助] 什么是外延法制备薄膜？不是外延法是什么方法？？

外延法制备薄膜是什么意思？非外延法有哪些，有什么区别？做出来的薄膜性能有什么区别？？？
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1楼 2012-10-25 10:30:39
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

外延方法通俗点讲就是在一个衬底上，顺着衬底的晶格类型生长出来的具有和衬底一样晶格类型的单晶薄膜。薄膜的取向和衬底是一致的。这个方法和提拉法生长单晶的原理有点类似。

非外延的方法很多，但是其主要的特点及时生长出来的是多晶薄膜，取向不一。
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用绳命来搞科研
6楼2012-10-30 10:49:28
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-26 07:54:44
一个可能不是很合适的比喻，外延就是指单晶
没有什么外延法和非外延法，区别只是能实现外延和不能实现外延
薄膜有几种形态，非晶、多晶、织构和外延，这对性能肯定有非常的影响。

其实，这类基本型的问题，我觉得最好是跟你的导师讨论，毕竟面对面的交流更节省时间。
一些基本问题要讲清楚，需要涉及很多基本概念，除非有人打算长篇大论，否则你也不会清楚，而且，一般在论坛上，没人有精力给你长篇大论
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2楼2012-10-25 11:14:59
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silveruranus

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-26 07:54:38
外延其实是一个广泛的含义，多数来说，采用单晶衬底制备薄膜，只有薄膜和衬底的晶格常数面内严格一致才能称为外延膜。但当前外延概念用的比较宽。有晶格弛豫的有时也叫外延，这个就不好说了，lz多看些文献就明白了。

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2012-10-25 13:47:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流 2012-10-26 07:54:30
广泛的说，沿着衬底现有晶格生长的都叫外延，而类似的方法，但对应的不沿着晶格长的，大部分都叫沉积。
至于沉积的方法就很多了，CVD，PVD，ALD，各种D不一而足。
而对于薄膜来说，制造的方法更加多了，无机的可以蒸发，溅射，有机的可以旋涂喷涂，还有各种镀的手段。
外延的主要作用是制造两种不同材料或属性的单晶界面，至于应用，主要有异质结或者是硅片上的P＋或者N+，更具体的应用就五花八门了。主要抓住界面来理解就好。
其它的绝大部分薄膜手段都不是以界面为需求的，而是薄膜材料本身的性质。
单晶界面的制造手段还有类似SOI的键合方法，但是由于成本和工艺结果的限制，和外延的应用领域完全不同。
可以翻番半导体工艺的书，把薄膜这一章读读，大概就有概念了。
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4楼2012-10-25 18:35:35
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