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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 无机非金属 » 材料测试 » EDS能谱测试ZnO，原子比怎么不是1:1呢？
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viviensweety

铁虫 (小有名气)

[求助] EDS能谱测试ZnO，原子比怎么不是1:1呢？

先上图吧
想知道Zn和O的At%比为什么不是1:1，而且我查了很多文献，用EDS测试ZnO和我的都差不多。
首先衬底是金刚石，用磁控溅射方法长的ZnO，靶是Zn靶，通入氧气，形成ZnO沉积到衬底上。
首先我自己想了两点原因：1是因为吸附氧2是沉积氧化锌的时候没结合完全
但是我觉得比值也不应该超过10:1呀，哪位知道原因的请赐教~哦，对了，EDS是SEM自带的。

1.JPG

[ Last edited by viviensweety on 2012-10-20 at 15:08 ]
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1楼2012-10-20 15:06:06
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drgoninhall

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
SEM的EDS超级不准啊，也就能做个定性分析
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3楼2012-10-20 18:47:40
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
吸附氧是主要原因，做这种表面表征，最好采用物理方法制样，然后表征的设备跟沉积的设备要在真空下连接，这样才有用，否则这些表征没有什么实际意义
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2楼2012-10-20 17:03:36
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
EDS只是定性的测试，你想定量表征肯定是不行的了。
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4楼2012-10-20 21:22:30
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xhzhu2008

铁杆木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

轻元素的定量探测是EDX的硬伤，尤其是O,N,C等元素；可能的话有EELS来做
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5楼2013-02-01 03:02:39
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