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viviensweety

铁虫 (小有名气)

[求助] EDS能谱测试ZnO,原子比怎么不是1:1呢?

先上图吧
想知道Zn和O的At%比为什么不是1:1,而且我查了很多文献,用EDS测试ZnO和我的都差不多。
首先衬底是金刚石,用磁控溅射方法长的ZnO,靶是Zn靶,通入氧气,形成ZnO沉积到衬底上。
首先我自己想了两点原因:1是因为吸附氧2是沉积氧化锌的时候没结合完全
但是我觉得比值也不应该超过10:1呀,哪位知道原因的请赐教~哦,对了,EDS是SEM自带的。

1.JPG

[ Last edited by viviensweety on 2012-10-20 at 15:08 ]
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zhangwenwen3

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

1.能谱分析仪本身存在少量误差,特别是时间久了,2能谱分析只能够分析原子序数在C以上的金属元素,非金属元素用eds没有意义!
10楼2013-05-29 13:43:03
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wu1008

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
吸附氧是主要原因,做这种表面表征,最好采用物理方法制样,然后表征的设备跟沉积的设备要在真空下连接,这样才有用,否则这些表征没有什么实际意义
2楼2012-10-20 17:03:36
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drgoninhall

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
SEM的EDS超级不准啊,也就能做个定性分析
3楼2012-10-20 18:47:40
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mosleo

捐助贵宾 (小有名气)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
EDS只是定性的测试,你想定量表征肯定是不行的了。
4楼2012-10-20 21:22:30
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