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liangzhaozky

木虫 (正式写手)

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[交流] 气相沉积SiC ，还有什么创新点可以做吗？

如题，老板给布置了一个气相沉积SiC的课题，但发现这个研究方向已经做得很多了，想请教各位，应该从哪个方向入手这个课题呢？

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1楼 2012-08-03 08:58:37

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liangzhaozky

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引用回帖:

6楼: Originally posted by iamkangta at 2012-08-04 12:56:08
不知你的气相沉积SiC 的条件？可否在石墨颗粒表面上沉积SiC？

我们这个课题是一个大课题下的子课题，我们主要做工艺流程，然后将数据提供给别人，他们接着搞模拟！我也是刚接触这一方面，气相沉积SiC的条件主要是根据文献中的方法来做的，以CH3SiCl3为气源，H2为载气！我们现在想可不可以在SiC表面接着沉积其他的物质，从而改善SiC某方面的性能！不知道您说的在石墨颗粒上沉积SiC主要用来作何用途？